氦質(zhì)譜檢漏方法比較多,根據(jù)被檢件的測(cè)量目的可以分為兩種類型,一種是漏點(diǎn)型,另一種是漏率型;在實(shí)際檢驗(yàn)過(guò)程中要根據(jù)檢驗(yàn)的目的選用最合理的方法,要以被檢器件的具體情況而定,靈活運(yùn)用各種檢漏方法。

1、測(cè)定漏點(diǎn)型氦質(zhì)譜檢漏方法

         確定漏點(diǎn)型既是確定要檢部件的具體漏點(diǎn)或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見(jiàn),如衛(wèi)星、導(dǎo)彈彈體、彈頭、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐等。

1.1、噴氦法氦質(zhì)譜檢漏方法

          這是最常用的一種方法,一般用于檢測(cè)體積相對(duì)較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等) 用噴槍噴氦,如圖4 所示,如果被檢器件某處有漏孔,當(dāng)氦噴到漏孔上時(shí),氦氣立即會(huì)被吸入到真空系統(tǒng),從而擴(kuò)散到質(zhì)譜室中,氦質(zhì)譜檢漏儀的輸出就會(huì)立即有響應(yīng),使用這種方法應(yīng)注意:氦氣是較輕的惰性氣體,在噴出后會(huì)自動(dòng)上升,為了準(zhǔn)確的在漏孔位置噴氦,噴氦時(shí)應(yīng)自上而下,由近至遠(yuǎn)(相對(duì)檢漏儀位置) ,這是因?yàn)樵趪娤路綍r(shí)氦氣有可能被上方漏孔吸入,就很難確定漏孔的位置;再者漏孔離質(zhì)譜室的距離檢漏儀反應(yīng)時(shí)間也不同,所以噴氦應(yīng)先從靠近檢漏儀的一側(cè)開(kāi)始由近至遠(yuǎn)來(lái)進(jìn)行。

圖4 　噴氦法檢漏示意圖

　 　在檢測(cè)較大部件時(shí)要借助機(jī)械泵進(jìn)行真空預(yù)抽,就可以提高檢漏效率和時(shí)間,如圖5 所示,噴氦法在檢查那些結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜的,密封口和焊縫又比較多而且擠在一起的小容器時(shí),由于氦噴出后會(huì)很快擴(kuò)散開(kāi)來(lái),往往不容易準(zhǔn)確地確定漏隙所在的部位,要采取從不同角度噴氦,仔細(xì)觀察反應(yīng)時(shí)間上的差別和將已發(fā)現(xiàn)的漏孔用真空封泥暫時(shí)封起來(lái)等辦法,就可以把漏孔逐個(gè)檢出。

 圖5 　輔助機(jī)械泵檢漏示意圖

1.2、吸氦法氦質(zhì)譜檢漏方法

          吸氦法主要用于檢查某些大型密封容器。如導(dǎo)彈彈體、彈頭、氣罐、油罐等,先將容器抽真空,再給容器充入氦氣(為了節(jié)省用氦量,可以用低濃度氦氣) ,在氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)氣法蘭處接上橡皮管,橡皮管的前端有直徑很小的毛細(xì)管,使毛細(xì)管在充了氦的被檢容器外壁的焊縫和密封接頭等處移動(dòng),如果該容器有漏隙,經(jīng)漏隙滲出的氦會(huì)被毛細(xì)管吸入,檢漏儀就會(huì)響應(yīng)。

2、測(cè)定漏率型氦質(zhì)譜檢漏方法

圖6 　吸氦法檢漏示意圖

          測(cè)定漏率型主要是針對(duì)密封性要求嚴(yán)格的部件進(jìn)行檢測(cè),如宇宙飛船、火箭液體燃料儲(chǔ)料箱、衛(wèi)星、電子元器件等。這種方法只能測(cè)試試件的漏率,無(wú)法確定漏孔的位置和漏孔的個(gè)數(shù)。