渦輪分子泵系統(tǒng)的操作注意事項

　　（1） 不能在前級泵工作時（前級管道接通） 和真空室處于真空狀態(tài)時將渦輪分子泵停掉，否則將會使油蒸汽迅速從前級管路返流到泵的清潔端。

　　（2） 分子泵系統(tǒng)在停機充干燥氣體前，一定要先將分子泵冷卻水關閉，且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級管路進行充氣。

　　（3）選擇抽氣系統(tǒng)前級泵的大小時，應使渦輪分子泵的前級保持在分子流狀態(tài)下。

　　（4）不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉速下運轉。

　　（5）分子泵入口應裝設防護網(wǎng)，以避免異物進入泵內損壞泵轉子和定子葉片。

渦輪分子泵系統(tǒng)常見故障及排除

　　渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)的常見故障及排除方法見表1。

表1 渦輪分子泵系統(tǒng)常見故障及排除方法